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顯示屏ITO面上IC表面缺陷檢測(cè)是確保顯示屏質(zhì)量的重要環(huán)節(jié),以下是一些常見的檢測(cè)方法和技術(shù):
1. 基于熱成像的檢測(cè)方法
這種方法通過給ITO電路通電使其發(fā)熱,然后利用熱成像技術(shù)拍攝發(fā)熱的ITO電路,得到熱成像圖片。具體步驟如下:
通電發(fā)熱:對(duì)ITO電路通電,使其發(fā)熱。
熱成像拍攝:對(duì)發(fā)熱的ITO電路進(jìn)行熱成像,得到熱成像圖片。
圖像處理:將熱成像圖片轉(zhuǎn)換為灰度圖片,進(jìn)行二值化處理,提取圖案邊緣,生成ITO電路圖片。
缺陷檢測(cè):將生成的ITO電路圖片與設(shè)計(jì)圖案進(jìn)行比對(duì),檢測(cè)缺陷
2. 基于機(jī)器視覺的檢測(cè)系統(tǒng)
這種方法利用機(jī)器視覺技術(shù),通過高分辨率相機(jī)和多光源成像,結(jié)合圖像處理算法實(shí)現(xiàn)缺陷檢測(cè)。具體步驟如下:
成像方案:使用線掃描相機(jī)和多光源同時(shí)曝光合成圖像,使表面缺陷與易誤干擾項(xiàng)形成不同特征。
圖像處理:采用Blob分析方法對(duì)明暗場(chǎng)圖像進(jìn)行分類處理,實(shí)現(xiàn)對(duì)劃痕、氣泡、劃傷等表面缺陷的檢測(cè)。
軟件系統(tǒng):康耐德智能利用C#實(shí)現(xiàn)具備友好的人機(jī)操作界面的檢測(cè)軟件系統(tǒng)
3. 高分辨率線陣CCD相機(jī)檢測(cè)系統(tǒng)
這種方法采用高分辨率線陣CCD相機(jī)和中長(zhǎng)焦鏡頭,通過分離相機(jī)與鏡頭及鏡頭倒置,獲得較大的動(dòng)態(tài)范圍和較好的調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)優(yōu)化值。具體步驟如下:
高分辨率成像:使用高分辨率線陣CCD相機(jī)和中長(zhǎng)焦鏡頭,獲得較高的圖像放大率與圖像精度。
動(dòng)態(tài)范圍優(yōu)化:通過分離相機(jī)與鏡頭及鏡頭倒置,獲得較大的動(dòng)態(tài)范圍和較好的調(diào)制轉(zhuǎn)換函數(shù)優(yōu)化值。
運(yùn)動(dòng)精度提升:采用直線電機(jī)提高系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)精度與穩(wěn)定度。
環(huán)境隔離:使用大理石底座減小周圍環(huán)境振動(dòng)對(duì)系統(tǒng)精度的影響
4. 液晶屏ITO線路AOI檢查機(jī)
這種方法適用于液晶屏線路裸露區(qū)域ITO的缺陷檢測(cè),具有高精度和高效率的特點(diǎn)。具體性能指標(biāo)如下:
檢測(cè)范圍:液晶屏尺寸1.8~40寸,最大1000 x 480mm,適用于異形屏檢測(cè)。
檢測(cè)區(qū)域:覆蓋整個(gè)玻璃ITO線路,包括Fanout區(qū)域線路、CFOG-Pad區(qū)域線路等。
支持線路:直線、波浪線、拐角線路、交叉線、亮暗線等。
檢測(cè)項(xiàng)目:線路劃傷、微劃傷、短路、斷路、微斷、異物(臟污)、腐蝕、毛刺等。
檢測(cè)精度:最小可檢測(cè)缺陷尺寸2um×2um。
漏檢率:0 DPPM。
過檢率:<5%,且平均誤判圖片<2張/片。
檢測(cè)速度:7-12 Inch Panel
。
5. 基于噴涂溴化銀的成像方法
這種方法通過在顯示屏表面噴涂溴化銀,利用反射光線的成像來檢測(cè)缺陷。具體步驟如下:
光源調(diào)整:打開光源,調(diào)整分光鏡的角度,使光線分為兩束,分別照射在反光鏡一和反光鏡二上。
噴涂溴化銀:在下顯示屏和上顯示屏表面均勻噴涂溴化銀,溴化銀遇強(qiáng)光照射會(huì)變色。
反光鏡調(diào)整:調(diào)整反光鏡一和反光鏡二的角度,使光線反射到玻璃的上下表面邊緣。
移動(dòng)光源:移動(dòng)光源,使光線從玻璃的一側(cè)邊緣慢慢照射到另一側(cè)邊緣,反射到上下顯示屏上。
觀測(cè)結(jié)果:如果玻璃表面有缺陷,顯示屏上噴涂的溴化銀部分會(huì)出現(xiàn)沒有變色的間隙,從而直接觀測(cè)到缺陷
這些方法各有優(yōu)缺點(diǎn),選擇適合的檢測(cè)方法可以有效提高顯示屏ITO面上IC表面缺陷檢測(cè)的效率和準(zhǔn)確性。
視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個(gè)工藝流程,對(duì)保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
CCD視覺檢測(cè)設(shè)備在醫(yī)療影像分析中的應(yīng)用主要體現(xiàn)
CCD視覺檢測(cè)設(shè)備在新能源電池制造中扮演著至關(guān)重要的角色,是實(shí)現(xiàn)高精度、高效率、高一致性和高安全性的核心裝備之一。隨著新能源汽車和儲(chǔ)能市場(chǎng)的爆發(fā)式增長(zhǎng),對(duì)電池質(zhì)量和生產(chǎn)自動(dòng)化的要求不斷提高,CCD視覺檢測(cè)的應(yīng)用變得不可或缺。
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